Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову стехиометрический состав
Метод формирования тонких пленок с заданным стехиометрическим распределением состава по толщине

А.Е. Комлев1, В.А. Вольпяс2, Р.А. Платонов3, А.Г. Алтынников4, А.Б. Козырев5

1–5 Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» (Санкт-Петербург, Россия)