Н.Н. Балан - к. т. н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) В.А. Васин - к. т. н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет). E-mail: vacuumwa@list.ru Е.Н. Ивашов - д. т. н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) П.С. Костомаров - аспирант, Московский государственный институт электроники и математики (технический университет). E-mail: pavel.kostomarov@gmail.com С.В. Степанчиков - к. т. н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)

Н.Н. Балан - к.т.н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) В.А. Васин - к.т.н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет). E-mail: vacuumwa@list.ru Е.Н. Ивашов - д.т.н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) П.С. Костомаров - аспирант, Московский государственный институт электроники и математики (технический университет). E-mail: pavel.kostomarov@gmail.com С.В. Степанчиков - к.т.н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)