В.А. Васин - к.т.н., доцент, МИЭМ. E-mail: vacuumwa@list.ru, vacuumwa@ya.ru Е.Н. Ивашов - д.т.н., проф., МИЭМ. E-mail: ienmiem@mail.ru П.С. Кузнецов - аспирант, МИЭМ С.В. Степанчиков - к.т.н., доцент, МИЭМ