350 руб
Журнал «Электромагнитные волны и электронные системы» №4 за 2011 г.
Статья в номере:
Проектирование внутрикамерных устройств вакуумного оборудования для экологически чистых и энергосберегающих технологий
Ключевые слова: экологически чистые технологии вакуумное оборудование внутрикамерные устройства микрочастицы износа привносимая дефектность интенсивность изнашивания коэффициент трения
Авторы:
В.А. Васин - к.т.н., доцент, МИЭМ. E-mail: vacuumwa@list.ru, vacuumwa@ya.ru Е.Н. Ивашов - д.т.н., проф., МИЭМ. E-mail: ienmiem@mail.ru П.С. Кузнецов - аспирант, МИЭМ С.В. Степанчиков - к.т.н., доцент, МИЭМ
Аннотация:
Рассмотрены особенности проектирования элементов и устройств вакуумного оборудования, предназначенных для реализации экологически чистых и энергосберегающих технологий в электронном производстве; выполнены расчёты коэффициентов трения материалов, работающих в вакууме, в зависимости от разрежения окружающей среды, для различных случаев контактного взаимодействия, а также интенсивности изнашивания пар трения в зависимости от нагрузки, микрогеометрии контакта, скорости скольжения, остаточного давления в вакуумной камере и механических характеристик материалов, позволяющие снизить уровень загрязнений, привносимых в проектируемом оборудовании, и повысить выход годных изделий электронной аппаратуры.
Страницы: 49-55
Список источников
  1. Степанчиков С.В. Исследование работоспособности узлов трения автоматических вакуумных манипуляторов // Автоматические манипуляторы и металлообрабатывающее оборудование с программным управлением. Тула: ТПИ. 1986. С. 106-110.
  2. Курманалиев Т.И., Некрасов М.И., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В. Определение коэффициентов трения материалов НКА, работающей в вакууме // Конструирование научных космических приборов. М.: Наука. 1985. С. 106-110.
  3. Боуден Ф., Тейбор Д. Трение и смазка твёрдых тел. М.: Машиностроение. 1968.
  4. Карапетян С.С. Адгезионная Модель трения // ДАН СССР. М.: Машиностроение. 1968.
  5. Трение изнашивание и смазка: Справочник в 2-х книгах. Кн. 1. М.: Машиностроение. 1978.
  6. Тимошенко С.П. Справочник материалов. Ч.2. Л.-М.: ГТИИ. 1938.
  7. Гельман А.С. Основы сварки давлением. М.: Машиностроение. 1970.
  8. Ивашов Е.Н., Некрасов М.И., Степанчиков С.В.Коэффициенты трения металлов, твёрдых смазочных покрытий и антифрикционных материалов в атмосфере и вакууме: Стандарт СТП МИЭМ 24-85. М.: МИЭМ. 1986.
  9. Крагельский И.В. и др. Трение и износ в вакууме. М.: Машиностроение. 1973.
  10. Решетов Д.Н. Детали машин. М.: Машиностроение. 1989.