Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову низкотемпературная плазма
ДЕТЕКТИРОВАНИЕ МИЛЛИМЕТРОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА МОДИФИЦИРОВАННЫХ ТОНКИХ ПЛЁНКАХ V, ВЫРАЩЕННЫХ В ПОТОКАХ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ
В. А. АЛЕКСАНДРОВ, А. А. СЕРДОБИНЦЕВ, А. Г. ВЕСЕЛОВ Саратовский филиал института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН E-mail: AlexandrovVA@gmail.com, SerdobintsevAA@info.sgu.ru, VeselovaLP @info.sgu.ru
Совершенствование конструкции магнетронного реактора для травления материалов в низкотемпературной плазме
С.Б. Беневоленский - д.т.н., профессор, ГОУ ВПО «МАТИ» - Российский государственный технологический университет имени К.Э. Циолковского. E-mail: electron_inform@mail.ru Е.В. Жалнова - ГОУ ВПО «МАТИ» - Российский государственный технологический университет имени К.Э. Циолковского. E-mail: electron_inform@mail.ru В.И. Кубрин - к.т.н., доцент, ГОУ ВПО «МАТИ» - Российский государственный технологический университет имени К.Э. Циолковского. E-mail: electron_inform@mail.ru Е.В. Марсова - д.т.н., доцент, ГОУ ВПО «МАТИ» - Российский государственный технологический университет имени К.Э. Циолковского. E-mail: electron_inform@mail.ru
Распределение пространственного заряда в замагниченной газоразрядной плазме, ограниченной плоскими диэлектрическими стенками

А.С. Банковский – к.ф.-м.н., доцент, кафедра «Электронные приборы и устройства»,  Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А.

А.А. Захаров – д.т.н., профессор, зав. кафедрой «Электронные приборы и устройства»,  Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А.

E-mail: zaharov@sstu.ru

А.А. Потапов – магистрант, кафедра «Электронные приборы и устройства»,  Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А. E-mail: potapov_andrey13@mail.ru