Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову нанолитография
Кремниевый транзистор с каналом-нанопроводом из неравномерно легированного кремния на изоляторе
С.В. Амитонов - аспирант, физический факультет, МГУ. E-mail: sam-msu@yandex.ru Д.Е. Преснов - к.ф.-м.н.. ст. науч. сотрудник, отдел микроэлектроники, НИИЯФ, МГУ. E-mail: denis.presnov@phys.msu.ru В.А. Крупенин - к.ф.-м.н.. ст. науч. сотрудник, физический факультет, МГУ. E-mail: vladimir.krupenin@phys.msu.ru
Одноэлектронный транзистор из высоколегированного кремния на изоляторе
Д. Е. Преснов - к. ф.-м. н., ст. научн. сотрудник, Отдел микроэлектроники, НИИЯФ, Московский Государственный Университет. E-mail: denis.presnov@phys.msu.ru С. В. Амитонов - аспирант, физический факультет, Московский Государственный Университет. E-mail: sam-msu@yandex.ru В.С. Власенко - руководитель департамента Научного и Промышленного Материаловедения, ООО «ОПТЭК» (Москва). E-mail: vlasenko@optecgroup.com В. А. Крупенин - к. ф.-м. н., ст. научн. сотрудник, физический факультет, Московский Государственный Университет. E-mail: vladimir.krupenin@phys.msu.ru
Одноэлектронный транзистор из высоколегированного кремния на изоляторе
Д. Е. Преснов - к. ф.-м. н., ст. научн. сотрудник, Отдел микроэлектроники, НИИЯФ, Московский Государственный Университет. E-mail: denis.presnov@phys.msu.ru С. В. Амитонов - аспирант, физический факультет, Московский Государственный Университет. E-mail: sam-msu@yandex.ru В.С. Власенко - руководитель департамента Научного и Промышленного Материаловедения, ООО «ОПТЭК» (Москва). E-mail: vlasenko@optecgroup.com В. А. Крупенин - к. ф.-м. н., ст. научн. сотрудник, физический факультет, Московский Государственный Университет. E-mail: vladimir.krupenin@phys.msu.ru