Л. Г. Акулов, Р. В. Литовкин

М. Л. Гуревич ННИПИ «Кварц», г. Н. Новгород А. В. Черемохин ННИПИ «Кварц», г. Н. Новгород

Н. В. Барышников - д.т.н., зав. кафедрой РЛ2, МГТУ им. Н. Э. Баумана. E-mail: baryshnikov@bmstu.ru Я. В. Гладышева - аспирант, инженер, МГТУ им. Н. Э. Баумана. E-mail: yanagladysheva@gmail.com Д. Г. Денисов - к.т.н., доцент, МГТУ им. Н. Э. Баумана. E-mail: denisov_dg@mail.ru И. В. Животовский - к.т.н., доцент, МГТУ им. Н. Э. Баумана. E-mail: ivj@bmstu.ru

В.Г. Пальчиков1, Ю.С. Самохвалов2, Д.А. Парёхин3

1-3 ФГУП «ВНИИФТРИ» (пос. Менделеево, Московская обл., Россия)

Д.И. Яминский1, C.М. Панова3, И.В. Яминский3

1–3 МГУ им. М.В. Ломоносова (Москва, Россия)
2, 3 ООО НПП «Центр перспективных технологий» (Москва, Россия)
1 y@sinno.ru, 2 serafima.panova@student.physchem.msu.ru, 3 yaminsky@nanoscopy.ru