Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову математическая модель распределения давления
Математическая модель распределения давления на кремниевые пластины при двустороннем полировании

И.И. Данилов1, Н.Г. Назаров2, Д.Д. Дмитриев3, С.Н. Синавчиан4, В.С. Синавчиан5

1–5 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)