Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову магнитное распыление
Синтез плёнок оксида ванадия в магнетронной распылительной системе с факельной формой рекомбинационного горения плазмы
В.А. Александров - вед. инженер, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН А.А. Сердобинцев - ст. науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН