Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову источник высокоплотной плазмы
Использование плазмохимического травления в технологии получения pin-диодов
О.Р. Абдуллаев - к.т.н., директор по науке и производству, ОАО «Оптрон». E-mail: abd@optron.ru Е.С. Роговский - вед. инженер, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru М.Ю. Филатов - к.т.н., зам. директора СКБ, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru