И.В. Сапков - мл. науч. сотрудник, физический факультет, МГУ им. М.В. Ломоносова. E-mail: sterkul@gmail.com В.В. Колесов - к.т.н., ст. науч. сотрудник, зав. лабораторией, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: kvv@cplire.ru Е.С. Солдатов - ст. науч. сотрудник, физический факультет, МГУ им. М.В. Ломоносова. E-mail: esold@phys.msu.ru

И.В. Сапков - мл. науч. сотрудник, физический факультет, МГУ им. М.В. Ломоносова. E-mail: sterkul@gmail.com В.В. Колесов - к.т.н., ст. науч. сотрудник, зав. лабораторией, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: kvv@cplire.ru Е.С. Солдатов - ст. науч. сотрудник, физический факультет, МГУ им. М.В. Ломоносова. E-mail: esold@phys.msu.ru

Д.С. Манегин1, В.Д. Соколов2, С.О. Шилов3, Е.В. Воробьев4, О.П. Плотникова5, С.Г. Ивахненко6

1-6 НОЦ «Ионно-плазменные-технологии», МГТУ им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

1 manegin@bmstu.ru; 2 sokolovvd@bmstu.ru; 3 s.shilov@bmstu.ru; 4 evv@bmstu.ru; 5 plotnikova@bmstu.ru; 6 ivakhnenko@bmstu.ru