В.В. Перинский - д.т.н., профессор, кафедра «Физическое материаловедение и технологии новых материалов», Саратовский государственный технический университет В.Н. Лясников - д.т.н., профессор, зав. кафедрой «Физическое материаловедение и технологии новых материалов», Саратовский государственный технический университет

Е.А. Степанцов – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова,  ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН (Москва)

E-mail: stepantsov@ns.crys.ras.ru

Е.А. Степанцов – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова,  ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН (Москва, Россия)

П.В. Лега

ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва, Россия)

П.В. Лега1

1 ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва, Россия)

Д.С. Манегин1, В.Д. Соколов2, С.О. Шилов3, Е.В. Воробьев4, О.П. Плотникова5, С.Г. Ивахненко6

1-6 НОЦ «Ионно-плазменные-технологии», МГТУ им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

1 manegin@bmstu.ru; 2 sokolovvd@bmstu.ru; 3 s.shilov@bmstu.ru; 4 evv@bmstu.ru; 5 plotnikova@bmstu.ru; 6 ivakhnenko@bmstu.ru