Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову ионное легирование
Влияние качества тонких диэлектрических пленок на надежность интегральных микросхем
О.Н. Глотова - студентка, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: luckyfox13@mail.ru С.А. Адарчин - к.т.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: drach@kaluga.org