Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову атомно-слоевое осаждение
Эффект резистивного переключения в тонких пленках оксида гафния в наноструктурах TiN/Hf<sub>x</sub>Al<sub>1-x</sub>O<sub>y</sub>/HfO<sub>2</sub>/TiN
С.А. Зайцев - к.ф.-м.н, науч. сотрудник, Московский физико-технический институт (государственный университет). Е-mail: mioga@list.ru О.М. Орлов - к.т.н, доцент, начальник лаборатории, Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (Москва). Е-mail: oorlov@mikron.ru Е.С. Горнев - д.т.н, профессор, гл. науч. сотрудник, Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (Москва). Е-mail: egornev@mikron.ru К.В. Егоров - аспирант, Московский физико-технический институт (государственный университет). Е-mail: egorov.constantin@gmail.com Р.В. Киртаев - студент, Московский физико-технический институт (государственный университет). Е-mail: rkirtaev@gmail.com А.М. Маркеев - к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, Московский физико-технический институт (государственный университет). Е-mail: amarkeev@mail.mipt.ru А.В. Заблоцкий - к.ф.-м.н, доцент, Московский физико-технический институт (государственный университет). Е-mail: zalexx@gmail.com
Селективное анодирование алюминиевой подложки для изготовления мощных гибридных интегральных микросхем

А.Н. Масюгин – инженер-технолог,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

E-mail: albert.masyugin@mail.ru

Ф.В. Зеленов – инженер-технолог,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

А.Б. Иванов – инженер-технолог,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

С.О. Коновалов – инженер-технолог,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

А.А. Ларьков – начальник сектора,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

Ф.А. Барон – д.т.н., зам. гл. технолога по микроэлектронике,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

А.В. Стреж – гл. технолог,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

Р.Г. Галеев – д.т.н., ген. директор,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

E-mail: kniirs1@mail.krs.ru