Д.А. Деревянко - аспирант, кафедра «Микро- и наноэлектроника», НИЯУ «МИФИ». E-mail: nrndda@gmail.com И.И. Шагурин - д.т.н., профессор, кафедра «Микро- и наноэлектроника», НИЯУ «МИФИ». E-mail: ishagurin@inbox.ru