Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову пленки AlN
Слоистая структура на основе пленок поликластерного алмаза и AlN для устройств на поверхностных акустических волнах
А.Ф. Белянин - д.т.н., профессор, гл. науч. сотрудник, АО ЦНИТИ «Техномаш», НПП«Технологии радиочастотной идентификации и связи» E-mail: belyanin@cnititm.ru А.С. Багдасарян - д.т.н., профессор, гл. науч. сотрудник, НПП«Технологии радиочастотной идентификации и связи», Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Получение методом ВЧ-магнетронного распыления пленок нитрида алюминия для устройств на поверхностных акустических волнах
С.А. Багдасарян - к.т.н., ген. директор Научно-производственного предприятия «ТРИиС» (Москва) E-mail: bagdassarian@mail.ru С.А. Налимов - вед. инженер-технолог, ОАО ЦНИТИ «Техномаш» (Москва) E-mail: belyanin@cnititm.ru В.В. Борисов - вед. программист, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова E-mail: borvv1947@mail.ru Н.И. Сушенцов - к.т.н., доцент, зав. кафедры «Конструирование и производство радиоаппаратуры», Поволжский государственный технологический университет (г. Йошкар-Ола) E-mail: sniyola@mail.ru