Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову наноповерхностная термодиффузия
Управление взаимозависимыми автокорреляционными параметрами надежности межсоединений микро- и наноэлектронной аппаратуры для проведения аноповерхностной низкотемпературной термодиффузии
О.И. Атакищев, В.В. Емельянов, В.М. Емельянов, Ю.Н. Кривов - Курский государственный технический университет; НПП «ЛАМА» (г. Рыбинск Ярославской обл.). E-mail: aoi007@mail.ru; wemelyanov@yandex.ru; emelianov@nm.ru; yu269kr@yandex.ru