Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову магнетронный реактор
Совершенствование конструкции магнетронного реактора для травления материалов в низкотемпературной плазме
С.Б. Беневоленский - д.т.н., профессор, ГОУ ВПО «МАТИ» - Российский государственный технологический университет имени К.Э. Циолковского. E-mail: electron_inform@mail.ru Е.В. Жалнова - ГОУ ВПО «МАТИ» - Российский государственный технологический университет имени К.Э. Циолковского. E-mail: electron_inform@mail.ru В.И. Кубрин - к.т.н., доцент, ГОУ ВПО «МАТИ» - Российский государственный технологический университет имени К.Э. Циолковского. E-mail: electron_inform@mail.ru Е.В. Марсова - д.т.н., доцент, ГОУ ВПО «МАТИ» - Российский государственный технологический университет имени К.Э. Циолковского. E-mail: electron_inform@mail.ru