Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову ионо-пучковая диагностика
Диагностика наноразмерных сегнетоэлектрических пленок на полупроводниковых и диэлектрических подложках методом РОР-спектроскопии
М.С. Афанасьев - к.т.н, ст. науч. сотрудник, Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН. Е-mail: michaela2005@yandex.ru В.К. Егоров - к.ф-м.н, ст. науч. сотрудник, Институт проблем технологии микроэлектроники РАН (г. Черноголовка). Е-mail: egorov@ipmt-hpm.ac.ru Г.В. Чучева - д.ф-м.н, зав. лабораторией, Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН. Е-mail: g_chucheva@mail.ru П.А. Лучников - зав. лабораторией, Московский государственный технический университет МИРЭА. Е-mail: xdeltax@mail.ru А.В. Буров - инженер, Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН. Е-mail: byrov143@yandex.ru