Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову ионопучковая диагностика
Технологический контроль элементного состава перовскитного слоя планарной наноструктуры, формируемой в ВЧ-плазме
М.С. Афанасьев - к.т.н, ст. науч. сотрудник, ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: michaela2005@yandex.ru А.В. Буров - инженер, ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: byrov143@yandex.ru В.К. Егоров - к.ф-м.н, ст. науч. сотрудник, ИПТМ РАН. E-mail: egorov@ipmt-hpm.ac.ru П.А. Лучников - зав. лабораторией, МГТУ МИРЭА. E-mail: fisika@mail.ru Г.В. Чучева - д.ф-м.н, зав. лабораторией, ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: g_chucheva@mail.ru
Технологический контроль элементного состава перовскитного слоя планарной наноструктуры, формируемой в ВЧ-плазме
М.С. Афанасьев - к.т.н, ст. науч. сотрудник, ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: michaela2005@yandex.ru А.В. Буров - инженер, ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: byrov143@yandex.ru В.К. Егоров - к.ф-м.н, ст. науч. сотрудник, ИПТМ РАН. E-mail: egorov@ipmt-hpm.ac.ru П.А. Лучников - зав. лабораторией, МГТУ МИРЭА. E-mail: fisika@mail.ru Г.В. Чучева - д.ф-м.н, зав. лабораторией, ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: g_chucheva@mail.ru