В.А. Васин - к.т.н., доц., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) (МИЭМ), Российское научно-техническое вакуумное общество (РВО). E-mail: vacuumwa@ya.ru, vacuumwa@list.ru Е.Н. Ивашов - д.т.н., проф., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) (МИЭМ) С.В. Степанчиков - к.т.н., доц., кафедра «Технологические системы электроники», Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) (МИЭМ)