350 руб
Журнал «Успехи современной радиоэлектроники» №2 за 2011 г.
Статья в номере:
Особенности проектирования вакуумного технологического оборудования радиоэлектронной промышленности
Ключевые слова: вакуумное технологическое оборудование
Авторы:
В.А. Васин - к.т.н., доц., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) (МИЭМ), Российское научно-техническое вакуумное общество (РВО). E-mail: vacuumwa@ya.ru, vacuumwa@list.ru Е.Н. Ивашов - д.т.н., проф., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) (МИЭМ) С.В. Степанчиков - к.т.н., доц., кафедра «Технологические системы электроники», Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) (МИЭМ)
Аннотация:
Рассмотрены особенности развития специального вакуумного технологического оборудования и проблемы снижения привносимых им загрязнений; приведены данные по минимальным размерам топологии микросхем и устройствам без узлов трения для современного вакуумного технологического оборудования; показано, что такой подход обес-печивает создание современной индустрии высоких вакуумных технологий в радиоэлектронной промышленности.
Страницы: 66-71
Список источников
  1. Фролов Е.С., Минайчев В.Е., Александрова А.Т. и др. Вакуумная техника: Справочник / под общ. ред. Е.С. Фролова и В. Е. Минайчева. М.:. Машиностроение. 1992.
  2. Александрова А.Т. Теоретические основы расчета и конструирования функциональных устройств и систем оборудования высоких вакуумных технологий на основе приводов управляемой упругой деформации. М.: Московский государственный институт электроники и математики. 2003.
  3. Александрова А.Т., Васин В.А., Горюнов А.А., и др. Патент № 2206913 «Устройство позиционирования и привод вращения для него». Заявка № 2001118067/28 от 03.07.2001. Опубликовано 20.06.2003. Бюлл. № 17.
  4. Александрова А.Т., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В. и др. Авт. свид. № 1366389 «Механизм для перемещения и ориентации деталей». Заявка № 4090039/31 от 28.05.1986. Опубликовано 30.10.1985. Бюлл. № 40.
  5. Александрова А.Т., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В. и др. Авт. свид. № 1187980 «Исполнительный орган манипулятора». Заявка №3780740/25 от 10,05,1984. Опубликовано 15.01.1988. Бюлл. № 2.