Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову Плазмохимическое травление
О.Р. Абдуллаев - к.т.н., директор по науке и производству, ОАО «Оптрон». E-mail: abd@optron.ru
Е.С. Роговский - вед. инженер, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru
М.Ю. Филатов - к.т.н., зам. директора СКБ, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru
В.Я. Шаныгин - ст. инженер, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов). E-mail: vitairerun@mail.ru
Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов)
С.Ю. Суздальцев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов)
Д.В. Нефедов - к.т.н., науч. сотрудник, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов)
Г.Р. Сагателян1, К.Н. Бугорков2, А.Б. Соломашенко3, А.С. Кузнецов4
1–4 МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)