Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову Микро-оптико-электромеханические системы
Технология создания микро-оптико-электромеханических систем

В.А. Куфтерин1, К.С. Полиенко2, А.Т. Тунгушпаев3

1−3 АО «НПК «Системы прецизионного приборостроения» (Москва, Россия)