Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову «Кремний на изоляторе»
Вертикальные КМОП нанотранзисторы с коническим каналом для трехмерных интегральных схем

Н.В. Масальский1

1 Федеральный научный центр «Научно-исследовательский институт системных исследований РАН» (Москва, Россия)