Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову удельное электрическое сопротивление
Технологические аспекты изготовления МИС СВЧ

А.Г. Гудков1, В.Н. Вьюгинов2, В.В. Попов3, Ю.В. Соловьев4, Н.К. Травин5, С.В. Чижиков6,
Р.В. Агандеев7, В.Д. Шашурин8

1,6–8 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

2 СПбГЭТУ «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) (Санкт-Петербург, Россия)

3 ПАО «Светлана» (Санкт-Петербург, Россия)

4,5 АО «Светлана-Электронприбор» (Санкт-Петербург, Россия)