Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову топологические слои
Роль послойного препарирования кристаллов в анализе отказов современных интегральных схем
В.А. Буробин - к.т.н., генеральный директор, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: burobin@gz-pulsar.ru, openline@gz-pulsar.ru Р.А. Милованов - науч. сотрудник, МГТУ МИРЭА. E-mail: Milovanov_r@inbox.ru. А.А. Щука - д.т.н., профессор, МГТУ МИРЭА. E-mail: shchuka@mail.mipt.ru