Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову кремниевая подложка
Анализ омического контакта системы титанникель с сильно легированным кремнием N-типа
А.В. Скипер - ст. преподаватель, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: skiper60@yandex.ru Н.С. Лазарев - студент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: lazarevnikolay05@gmail.com В.С. Зайончковский - к.ф.-м.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: vz48@post.ru И.А. Расторгуев - студент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: rastorguew94@gmail.com
Подготовка поверхности подложки кремниевых нанопроволочных полевых транзисторов для создания биосенсора

А.А. Черемискина¹, В.М. Генералов², А.С. Сафатов³, Г.А. Буряк4, А.Л. Асеев5

1-4 ФБУН ГНЦ вирусологии и биотехнологии «Вектор» Роспотребнадзора (р.п. Кольцово, Новосиб. обл., Россия)

5 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (г. Новосибирск, Россия);

Новосибирский государственный университет (г. Новосибирск, Россия)