350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №1 за 2016 г.
Статья в номере:
Методология и методы физико-химического анализа в разработке технологических процессов производства электронной компонентной базы
Ключевые слова: физико-химический анализ состав структура свойство технология
Авторы:
Н.А. Томилин - д.т.н., начальник отдела, ЗАО «НПО «НИИТАЛ» (Москва) В.С. Серегин - д.т.н., ген. директор ЗАО «НПО «НИИТАЛ» (Москва) В.П. Марин - академик АПК, д.т.н., профессор, Московский государственный университет bнформационных технологий, радиотехники и электроники (МИРЭА) И.К. Кудрявцев - к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, МГУ им. М.В. Ломоносова (Москва) Л.В. Пилавова - к.х.н., зам. ген. директора, ЗАО «НПО «НИИТАЛ» (Москва) Е.С. Пилавова - вед. инженер, ЗАО «НПО «НИИТАЛ» (Москва). E-mail: info_niital@mail.ru
Аннотация:
Приведены результаты комплексных исследований состава, структуры и свойств материалов с использованием современных методов физико-химического анализа (ФХА), выполненных при разработке различных технологических процессов производства материалов и компонентов изделий электронной техники (технологии изготовления импрегнированных катодов, технологии металлизации алюмонитридной керамики). Получены результаты, свидетельствующие об эффективности использования методологии и современных аналитических методов ФХА при разработке и контроле технологических процессов производства электронной компонентной базы.
Страницы: 37-47
Список источников

 

  1. Аносов В.Я., Озерова М.И., Фиалков Ю.А. Основы физико-химического анализа. М.: Наука. 1976. 503 с.
  2. Гоулдстейн Дж.и др. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ: В двух книгах / Пер. с англ. М.: Мир. 1984.
  3. Saparin G.V., Obyden S.K. Color display of videoinformation in the SEM: Principles and application to physics, geology, soil science, biology and medicine // Scanning. 1988. V. 10. P. 87−106.
  4. Томилин Н.А., Меньшенин Ю.В., Марин В.П.и др. Использование метода цветной катодолюминесценции для исследования материалов изделий электронной техники // Наукоемкие технологии. 2004. Т. 5. № 1. С. 25−28.
  5. Томилин Н.А. Комплексная методика анализа материалов изделий электронной техники с использованием метода цветной катодо-люминесценции // Наукоемкие технологии. 2006. Т. 7. № 4−5. С. 39−42.
  6. Lipeles R.A., Kan H.K.A.Chemical Stability of Barium Calcium Aluminate Dispenser Cathode Impregnants // Application of Surface Science. 1983. V. 16. P. 189−206.
  7. Самсонов Г.В. Неметаллические нитриды. М.: Металлургия. 1969.
  8. Косолапова Т.Я. Неметаллические тугоплавкие соединения. М.: Металлургия. 1985.
  9. Непочатов Ю., Земницкая А., Муль П. Разработка керамики на основе нитрида алюминия для изделий электронной техники // Современная электроника. 2011. № 9. С. 14−16.
  10. Беляков А.В., Кузнецова И.Г., Куфтырев Р.Ю., Пилавова Л.В., Серегин В.С. Металлизация керамики из нитрида алюминия (обзор) // Стекло и керамика. 2012. № 8. С. 26−30.
  11. Торопов Н.А.Диаграммы состояния силикатных систем: Справочник. М.: Наука. 1965. 350 с.
  12. Aluminium Nitride Products // MARUWA CO. LTD. General Catalog. Circuit Ceramics. P. 154.