350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №10 за 2014 г.
Статья в номере:
Пленочные холодные катоды для современных гелий неоновых лазеров
Ключевые слова: моноблочные лазеры напыленный холодный катод оксидный слой коэффициент ионно-электронной эмиссии гелий-неоновая смесь
Авторы:
Ньейн Чан - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: fn2kf@list.ru
Аннотация:
Определены оптимальные режимы для вакуумно-термической очистки подложки пленочных холодных катодов гелий-неоновых лазеров, а также для формирования оксидного слоя на рабочей поверхности катода посредством плазмохимической обработки в кислородосодержащей среде. Показано, что обработка катодов по оптимальному режиму позволяет обеспечить высокое значение коэффициента ионно-электронной эмиссии (γ), порядка 0,15−0,18.
Страницы: 26-29
Список источников

  1. Актон Д., Свифт Д. Газоразрядные лампы с холодным катодом. М.-Л.: Энергия. 1965. 480 с.
  2. Никифоров Д.К., Коржавый А.П., Никифоров К.Г. Эмиттирующие наноструктуры «металл-оксид металла»: физика и применение: монография / Под ред. А.П. Коржавого. М.: Изд‑во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2009. 156 с.
  3. Никифоров Д.К., Коржавый А.П., Никифоров К.Г. Влияние диэлектрического нанослоя на эмиссионные свойства структур Al-Al2O3 и Ве-ВеО // Известия РГПУ им. А.И. Герцена. Естественные и точные науки. Физика. 2009. № 11 (79). С. 153−159.
  4. Трофимов Е.А., Арцыхович В.Ф., Смирнов Ю.Н. Получение защитных пленок на полых катодах в тлеющем разряде кислорода // Электронная техника. Материалы. 1973. № 12. С. 3−10.
  5. Определение потенциала поверхности диэлектрического слоя на мишени, бомбардируемой ионным пучком / Р.Д. Аитов, А.П. Коржавый, В.И. Кристяидр. // Журнал технической физики. 1998. Т. 68. № 9. С. 126−128.
  6. Авторское свидетельство SU. 421308. 1972. Газовый оптический квантовый генератор с холодным катодом / Файфер С.И., Жданов С.М., Коржавый А.П.идр.
  7. Fein M.E., SalisburyCh.W. Integrated construction of low-cost gas lasers // Appl. Optics. 1977. V. 16. № 8. P. 2308−2314.
  8. Семенова В.Б., Коржавый А.П. Методы разработки и конструктивные особенности электродных систем современных газовых лазеров // Лазерная техника и оптоэлектроника. 1982. № 3 (900). 71 с.
  9. Аитов Р.Д., Коржавый А.П., Кристя В.И. Эмиссионные свойства холодных катодов с оксидной пленкой на поверхности для газоразрядных приборов // Обзоры по электронной технике. Материалы. 1991. № 6. 47 с.
  10. Патент RU. 2119218. 1998. Газовый моноблочный лазер / Демиденков Ю.В., Колбас Ю.Ю., Коржавый А.П.идр.
  11. Бондаренко Г.Г., Коржавый А.П. Ионно-плазменное напыление алюминиевых и бериллиевых покрытий на внутренние поверхности полых цилиндрических катодов // Известия РАН. Металлы. 1995. № 4. С. 167−171.
  12. Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир. 1981. 584 с.
  13. Горшков М.М. Эллипсометрия. М.: Сов. Радио. 1974. 200 с.