350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №6 за 2009 г.
Статья в номере:
ЛАЗЕРНЫЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПОЛОЖЕНИЯ И ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ОБЪЕКТОВ
Ключевые слова: лазерный гетеродинный акустооптический метод измерение фазовый частотный преобразователь
Авторы:
В.И. Телешевский - докт. техн. наук, проф., ГОУ ВПО МГТУ «Станкин». E-mail: vitel@stankin.ru В.А. Соколов - аспирант, ГОУ ВПО МГТУ «Станкин».
Аннотация:
Рассматривается принципиально новый способ реализации «оптической губки», при котором происходит фазовое или частотное преобразование смещения границы объекта. На основе рассмотренных фазовых и частотных лазерных гетеродинных измерительных систем возможно измерение положения границы с дискретностью отсчета до 0,01 мкм для объектов, движущихся со скоростями до сотен м/мин
Страницы: 28-31
Список источников
  1. Иванов B.A., Привалов В.Е. Применение лазеров в приборах точной механики. Изд. Политехника. С.Пб.: 1993. С. 216.
  2. Телешевский В. И., Абдикаримов H. H. Гетеродинный лазерный акустооптический сенсор для бесконтактного определения положения границ объектов. Тез. докл. 8-ой Всесоюзной конф., «Фотометрия и ее метрологическое обеспечение». M.: 1990. С. 242.
  3. Телешевский В.И., Абдикаримов H.H. Способ определения положения границы объекта. Авт. свид. № 1714359, Бюлл. изобрет. № 7. 1992.
  4. Teleshevky V.I. Heterodyne laser interferometry for measuring of form and position deviations in nanotechnology. 9Jnterant. Oberflachenkolloquiuon, Chemnitz. 1996. Poster. P. 35-45.