350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №4 за 2007 г.
Статья в номере:
Деградация чувствительных элементов полупроводниковых структур как следствие механических напряжений
Авторы:
Косушкин В.Г., Адарчин С.А., Максимова Е.А.
Аннотация:
Определено влияние температурных механических напряжений в чувствительных элементах полупроводниковых датчиков на их основные физические параметры; рассмотрена деградация чувствительных элементов, обусловленная наличием в них механических напряжений, вызванных термоциклическими воздействиями.