350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №7-8 за 2006 г.
Статья в номере:
Тонкопленочные технологии в сверхвысокочастотных и квантовых приборах
Авторы:
Реутов А. П., Марин В. П., Никифоров Д. К., Пчелинцева Н. И., Чистяков Г. А.
Аннотация:
Приведены результаты применения тонкопленочных технологий для получения элементной базы сверхвысокочастотных и квантовых приборов, обеспечивающей их надежность и долговечность в системах радиолокации и диагностики.