В. И. Воронин - к.т.н., с.н.с., доцент кафедры «Электронное машиностроение и сварка», Саратовский ГТУ. Г. В. Конюшков - д.т.н., проф., зав. кафедрой «Электронное машиностроение и сварка», Саратовский ГТУ. А. А. Лемякин - ассистент кафедры «Электронное машиностроение и сварка», Саратовский ГТУ. Е-mail: ems@sstu.ru

Разработана методика определения оптимальных условий камерной откачки электровакуумных приборов с разнесением частей, позволяющая определить наибольшую эффективную скорость откачки газов из прибора и межэлектродного пространства. Показано, что величина давления газов в приборе при камерной откачке зависит от проводимости зазора между разнесенными частями, газовыделения из материалов деталей прибора, проводимости вакуумной системы, предельного давления в камере, объемов камеры и прибора. С учетом динамики газовыделения из внутренней арматуры прибора получено соотношение, позволяющее вычислить величину зазора в начальный период обезгаживания, т. е. при максимальной газовой нагрузке.