Р.А Юсупов - аспирант, МФТИ; инженер ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва) E-mail: yusupovrenat@hitech.cplire.ru М.А. Тарасов - д.ф.-м.н., гл. науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва) В.С. Эдельман - д.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ИФП РАН (Москва) М.Ю. Фоминский - к.ф.-м.н., ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва)

Разработаны и изготовлены болометрические структуры сверхпроводник-изолятор-нормальный металл-изолятор-сверхпроводник (СИНИС) с подвешенными пленками нормального металла. В качестве нормального металла исследованы пленки Cu, Pd, Hf. Болометры интегрированы с планарными двойными щелевыми и логопериодическими антеннами. Оптимизирована конструкция и технология изготовления болометра, позволившая устранить подавление сверхпроводимости эффектом близости на краях туннельных переходов, граничащих с нормальным металлом. Измерены вольт-амперные характеристики при температурах 100-300 мК и оптический отклик на излучение черного тела.

 

1. Kuzmin L., Chouvaev D., Tarasov M., Sundquist P., Willander M., Claeson T. On concept of normal metal hot-electron microbolometer for space applications // IEEE Trans. Appl. Supercond. 1999. V. 9. № 2. Р. 3186-3189.
2. Tarasov M., Kuzmin L., Kaurova N. Thin multilayer aluminum structures for superconducting devices // Instruments and Experimental Techn. 2009. V. 52. № 6. Р. 877-881.
3. Tarasov M., Edelman V., Ermakov A., Mahashabde S., Kuzmin L. Quantum efficiency of cold-electron bolometer optical response // IEEE Trans. Terahertz Sci. Technol. 2015. V. 5. № 1. Р. 44-48.
4. Тарасов М.А., Эдельман В.С., Фоминский М.Ю., Юсупов Р.А., Юргенс А. Криогенный болометр с подвешенным абсорбером // Журнал радиоэлектроники. 2016. № 1. http://jre.cplire.ru/jre/jan16/14/text.html.
5. Селиверстов А.В., Тарасов М.А., Эдельман В.С. Влияние продольного магнитного поля на андреевскую проводимость структуры сверхпроводник-изолятор-нормальный металл // Письма в ЖЭТФ. 2016. Т. 103. №7. Р. 547-551.