Н.В. Воронова - начальник лаборатории фотошаблонов, ОАО «НИИ «Элпа» Е-mail: vonavl@mail.ru В.И. Анисимкин - д.ф.-м-н., гл. науч. сотрудник, ИРЭ им.В.А. Котельникова РАН (Москва)

Экспериментально показано, что сенсорные свойства нормальных акустических волн могут варьироваться за счет: а) изменения направления распространения на кристаллической пластине из-за ее анизотропии; б) выбора номера моды n для каждого направления распространения; в) использования разных нормированных на длину волны толщин пластины H/ для каждой волны n и каждого направления. Используя эту особенность нормальных волн, создан и апробирован макет решетки акустических датчиков, интегрированных на одной пьезоэлектрической пластине, который пригоден для приборов «электронный язык».

 

1. Nagle H.T, Gutierrez-Osuna R., Schiffman S.S. The How and Why the Electronic Noses // IEEE Spectrum. 1998. V. 35. № 9. P. 22-34.
2. Baltes H., Lange D., Koll A. The Electronic Nose in Lilliput // IEEE Spectrum. 1998. V. 35. № 9. P. 35-38.
3. Крышталь Р.Г., Медведь А.В. Одноканальный датчик на горизонтально-сдвиговых поверхностных акустических волнах для идентификации веществ в жидкой фазе // Письма ЖТФ. 2010. Т. 36. № 2. С. 31-38.
4. Anisimkin V.I., Krystal R.G., Medved A.V., Verona E., Zemlyakov V.E. Integrated array of gas sensors // Electronics Lett. 1998. V. 34. № 13. Р. 1360-1361.
5. Auld B.A. Acoustic Fields and Waves. New York-London-Sydney-Toronto: Wiley-Interscience Publication. 1973. V. 2.
6. Hu Y., French Jr. L.A., Radecsky K. A lateral field excited liquid acoustic wave sensor // Proceeding 2003 Ultrasonic Symp. 2003. P. 46-51.