350 руб
Журнал «Нелинейный мир» №2 за 2014 г.
Статья в номере:
Формирование текстурированных пленок ферромагнитных 3D металлов с различной кристаллографической ориентацией и микроструктурным строением методом магнетронного распыления на постоянном токе
Ключевые слова: текстура микроструктура морфология поверхности ферромагнитные пленки
Авторы:
Ю.В. Никулин - науч. сотрудник, лаборатория магнитоэлектроники СВЧ, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: yvnikulin@gmail.com А.С. Джумалиев - к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, лаборатория магнитоэлектроники СВЧ, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН Ю.А. Филимонов - д.ф.-м.н., директор, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Аннотация:
Исследовано влияние давления рабочего газа, потенциала смещения на подложке и температуры отжига на формирование кристаллической структуры, кристаллографической ориентации и микроструктуры текстурированных пленок ферромагнитных 3D металлов, осаждаемых методом магнетронного распыления на постоянном токе на подложки SiO2/Si при комнатной температуре.
Страницы: 5-7
Список источников
  1. Yi J. B., Zhou Y. Z., Ding J. et al. An investigation of structure, magnetic properties and magnetoresistance of Ni films prepared by sputtering // JMMM. 2004. V. 284. P. 303.