П.А. Лучников - начальник отдела, НОЦ «Технологический центр» при МГТУ МИРЭА. Е-mail: xamdex@gmail.com А.А. Назаренко - аспирант, Московский государственный технический университет радиотехники электроники и автоматики (МГТУ МИРЭА). Е-mail: alexandrnazarenco@gmail.com А.А. Рогачев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, Белорусский государственный университет транспорта (г. Гомель, Беларусь). Е-mail: rogachevfv@mail.ru

Исследована морфология структуры и фрактальность рельефа пленочных покрытий полидихлорпараксилилена различной толщины, полученных путем осаждения из газовой фазы паров мономера [2.2] парациклофана при давлении ~ 3-9 Па. На основе фрактального анализа данных АСМ-микроскопии показано, что в покрытиях полидихлорпараксилилена интенсивно протекают процессы самоорганизации структуры. Установлено, что в тонких слоях 90-300 нм основной механизм роста связан с адсорбцией, диффузией и последующей полимеризацией исходного мономера. При толщинах более 1200 нм наблюдается формирование сплошных, плотноупакованных структурных образований полидихлорпараксилилена по механизму близкому к кластер-кластерной агрегации.