350 руб
Журнал «Нелинейный мир» №2 за 2013 г.
Статья в номере:
Матричные автоэмиссионные структуры на основе углеродных нанотрубок для плоских дисплеев
Ключевые слова: автоэмиссионные катоды углеродные нанотрубки плоские дисплеи
Авторы:
Е.А. Тарасов - аспирант, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН, стажер-исследователь, лаборатория микро- и наноэлектроники СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: reqaet@yandex.ru Г.В. Торгашов - к.ф.-м.н., зав. лабораторией микро- и наноэлектроники, СФ ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН Ю.А. Григорьев - д.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, лаборатория микро- и наноэлектроники, СФ ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН Н.И. Синицын - д.ф.-м.н., зам. директора по научной работе, СФ ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН Н.П. Абаньшин - начальник отдела, ОАО «НИИ «Волга». E-mail: npabanshin@mail.ru Б.И. Горфинкель - д.т.н., советник директора, ОАО «НИИ «Волга». E-mail: gorfink@san.ru
Аннотация:
Осуществлены процессы синтеза углеродных нанотрубок (УНТ) методом TCVD в отверстиях катодных матриц. Показано, что для создания матричной структуры из отверстий использована технология оптической фотолитографии с последующим химическим травлением тройной структуры Si/SiO2/Mo.
Страницы: 84-85
Список источников
  1. Indranil Lahiri, Joyce Wong, Zilu Zhou, Wonbong Choi. Ultra-high current density carbon nanotube field emitter structure on three-dimensional micro-channeled copper // Applied Physics Letters. 2012. V. 101.№ 6. Р. 063110.
  2. Akio Kawabata, Shintaro Sato, Hiroki Shioya, Taisuke Iwai, Mizuhisa Nihei, Daiyu Kondo, Yuji Awano. Direction-Controlled Growth of Carbon Nanotubes // Japanese Journal of Applied Physics. 2008. V. 47. № 4. P. 1975-1977.