350 руб
Журнал «Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век» №1 за 2015 г.
Статья в номере:
Особенности эпитаксиального выращивания гетероструктур для твердотельного освещения
Ключевые слова: нанотехнологии гетероструктуры светодиод
Авторы:
В.А. Буробин - к.т.н., ген. директор, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: burobin@gz-pulsar.ru А.Ю. Волошин - начальник СКБ \"РПИ ГП\", ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: anvo@yandex.ru Н.И. Каргин - д.т.н., профессор, проректор, Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ». E-mail: krgn@ya.ru А.А. Макаров - вед. специалист, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: a.makarov@gz-pulsar.ru А.А. Щука - д.т.н.; профессор, Московский физико-технический институт (государственный университет). E-mail: shchuka@mail.mipt.ru
Аннотация:
Рассмотрены современные тенденции производства гетероэпитаксиальных структур для твердотельного освещения общего назначения. Приведены основные методы подготовки поверхности кремниевой пластины для эпитаксиального выращивания слоев InGaN/GaN. Предложены различные подходы к формированию буферных слоев GaN высокого ка-чества.
Страницы: 27-30
Список источников

 

  1. Буробин В.А., Коновалов А.М.Конструктивно-технологические решения в производстве ярких светодиодов на основе гетероструктур InGaN/GaN/AlGaN // Материалы I Междунар. форума по нанотехнологиям. Москва. 2008.3-5 декабря.
  2. Арендаренко А.А., Буробин В.А., Свешников Ю.Н., Цыпленков И.Н. Пути разработки МОС-гидридной технологии получения гетероструктур на основе нитрида галлия с наноразмерными областями для светоизлучающих диодов // Материалы Iмеждунар. форума по нанотехнологиям. Москва. 2008.3-5 декабря.
  3. Каргин Н.И., Рыжук Р.В., Коновалов А.М., Кузнецов А.Л., Макаров А.А., Павлов А.Ю. Разработка энергоэффективного светильника на основе наногетероструктур InGaN/GaN/AlGaN // Электронная техника. Серия 2: Полупроводниковыеприборы. 2012. № 1. С. 90-94.
  4. Horng R. H. et al. Performance of GaN-based light-emitting diodes fabricated using GaN epilayers grown on silicon substrates // Optics Express. 2014. Т. 22. № 101. С. A179‑A187.
  5. Буробин В.А. Решение проблем энергосбережения. Вклад ФГУП «ГЗ «Пульсар» // Электроника. Наука. Технология. Бизнес. 2009. №3. С. 48-51.
  6. Буробин В.А., Зверев А.В., Якунин А.С. Корпоративная дорожная карта. Путь крупносерийному производству светодиодов открыт // Электроника. Наука. Технология. Бизнес. 2010. № 6.