350 руб
Журнал «Наноматериалы и наноструктуры - XXI век» №3 за 2015 г.
Статья в номере:
Методика измерения параметров наноразмерных объектов
Ключевые слова: методика поверки оптический профилометр наноразмерные структуры метрологические характеристики меры средства измерений погрешности измерений
Авторы:
С.С. Анцыферов - д.т.н., профессор, Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники. E-mail: c_standard@fel.mirea.ru Д.А. Карабанов - аспирант, Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники. E-mail: karabanov.d.a@gmail.com Д.А. Моисеева - магистрант, Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники. E-mail: Dashamoi@mail.ru
Аннотация:
Рассмотрена методика поверки оптических профилометров модели «NEOX» для целей утверждения типа. Приведен пример практической апробации разработанной методики для измерения параметров наноразмерных структур.
Страницы: 47-52
Список источников

 

  1. Шишмарев В.Ю.Средства измерений. М.: Академия. 2013. 320 с.
  2. МИ 3290-2010 «ГСИ. Рекомендация по подготовке, оформлению и рассмотрению материалов испытаний средств измерений в целях утверждения типа». М.: Издательство стандартов. 2010. 32 с.
  3. РМГ 51-2002 «ГСИ. Документы на методики поверки средств измерений. Основные положения». М.: Издательство стандартов. 2003. 4 с.
  4. Анцыферов С.С., Голубь Б.И. Общая теория измерений: учеб. пособие / Под ред. акад. РАН Н.Н. Евтихиева. М.: Горячая линия - Телеком. 2007. 176 с.
  5. Анцыферов С.С., Афанасьев М.С. Основы теоретической метрологии: учебное пособие. М.: Икар. 2012. 208 с.
  6. Анцыферов С.С., Афанасьев М.С., Русанов К.Е. Обработка результатов измерений: учеб. пособие. М.: Икар. 2014. 228 с.