Егоров А. А., Кулыба Ю. Н., Маркин В. В., Папе Г. Е., Попов Ф. Г., Радомиров О. Е., Силкин А. Т., Федоров Ю. В.

Проведен анализ технологических решений по созданию оптоэлектронных модуляторов на MQW-гетероструктурах. Разработана технология и изготовлен матричный модулятор света размерностью 16-16 элементов на основе p-i(MQW)-n - гетероструктуры AlGaAs/GaAs с управлением по гибридной технологии. Модулятор управляется ПЛИС фирмы ALTERA и встроен в плату управления и тестирования. Представлены результаты его испытаний.