350 руб
Журнал «Электромагнитные волны и электронные системы» №1 за 2012 г.
Статья в номере:
Гетероструктурная СВЧ-электроника в России
Ключевые слова: СВЧ-электроники комплексная технологическая оптимизация МИС СВЧ
Авторы:
В.Н. Вьюгинов - к.ф.-м.н., зам. начальника ОКБ ЗАО «Светлана-Электронприбор» (Санкт-Петербург) А.Г. Гудков - д.т.н., профессор, МГТУ им. Н.Э. Баумана В.А. Добров - к.т.н., начальник отдела, ОКБ ЗАО «Светлана-Электронприбор» (Санкт-Петербург) С.А. Мешков - к.т.н., доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана В.В. Попов - к.т.н., ген. директор ОАО «Светлана» (Санкт-Петербург)
Аннотация:
Представлен обзор состояния гетероструктурной СВЧ-электроники в России; приведены на основании анализа литературных данных параметры некоторых приборов и устройств СВЧ-электроники, освоенных российскими предприятиями; отмечена актуальность работ по комплексной технологической оптимизации МИС СВЧ.
Страницы: 4-9
Список источников
  1. Ковалев А.Н.Гетероструктурная наноэлектроника: Учеб. пособие. М.: Издательский дом МИСиС. 2009.
  2. Майская В.СВЧ-полупроводниковые технологии - статус равен. Но у кого он равнее - // Электроника: Наука, Технологии, Бизнес. 2006. № 5. С. 20-27.
  3. Алексеев А., Красовицкий Д., Петров С., Чалый В. Многослойные гетероструктуры AlN/AlGaN/GaN/AlGaN - основа новой компонентной базы твердотельной СВЧ-электроники // Компоненты и технологии. 2008. № 2. С. 138-142.
  4. Кищинский А.А.Широкополосные транзисторные усилители мощности СВЧ - смена поколений // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2010. № 2.
  5. Лебедев А., Сбруев С. SiC-электроника. Прошлое, настоящее, будущее // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2006. № 5. С. 28-41.
  6. Мякишев Ю., Гуляев В., Журавлев К. Квазимонолитные интегральные СВЧ-схемы: технологии и приборы // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2006. № 6. С. 84-87.
  7. Мальцев П. В Росси есть твердотельная СВЧ-электроника // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2010. № 4. С. 4-9.
  8. Шурыгин Ю.А., Бабак Л.И., Малютин Н.Д. и др. Технологии производства СВЧ полупроводниковой наноэлектроники и компьютерного моделирования устройств микро-и наносистемной техники // Электроника и связь. № 4. Тематический вып. «Электроника и нанотехнологии». 2010. С. 17-21.
  9. http://edu.ioffe.ru/index1.html
  10. Алексеев А., Филаретов А., Чалый В., Погорельский Ю. Молекулярно-пучковая эпитаксия. Оборудование и результаты. 2010. http://www.nanometer.ru/2010/01/18/molekularno_puchkovaa_epitaksia_oborudovanie_geterostruktura_162990.html
  11. Разработка моделей, методов и программных средств для автоматизированного проектирования СВЧ монолитных интегральных схем, выполняемых по отечественной технологии. Отчет о НИР. Рук. Л.И. Бабак. Томск: Томский государственный ун-т систем управления и радиоэлектроники. 2006.
  12. Бушминский И.П., Гудков А.Г., Дергачев В.Ф. и др. Конструкторско-технологические основы проектирования полосковых микросхем / под. ред. И.П. Бушминского.М.: Радио и связь. 1987.
  13. Гудков А.Г.Радиоаппаратура в условиях рынка. Комплексная технологическая оптимизация. М.: САЙНС-ПРЕСС. 2008.
  14. Гудков А.Г.,Леушин В.Ю., Мешков С.А. Обеспечение показателей качества микросхем СВЧ методом вероятностного моделирования // Материалы 17-й Междунар. Крымской конф. «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии». 10-14 сентября 2007 г. Севастополь.
  15. Гудков А.Г.,Леушин В.Ю., Мешков С.А., Попов В.В. Применение методов комплексной технологической оптимизации при проектировании МИС СВЧ // Материалы 18-й Междунар. Крымской конф. «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии». 8-12 сентября 2008 г. Севастополь.