Д.А. Волкова1, М.К. Кутузов2, В.М. Коломин3, В.С. Горяйнов4, Д.Н. Полозов5, В.И. Алексеенков6, А.Л. Курапова7
1,3–7 АО «НПП «Исток» им. Шокина» (г. Фрязино, Россия)
2 ООО «ЭЛМА-ПАСТЫ» (г. Зеленоград, Россия)
3 vmkolomin@istokmw.ru
Постановка проблемы. Низкотемпературная технология совместного обжига керамических материалов (LTCC) получила широкое распространение благодаря ее применению в беспроводных устройствах, радиолокационных модулях и во всех областях, где важны высокая интеграция и надежность. Ее применение в СВЧ-термоаттенюаторах позволяет подстраивать уровень усиления сигнала при изменении температуры за счет использования толстопленочных термисторов.
Цель. Провести исследование нескольких факторов, влияющих на параметры термисторов: декапирование и взаимодействие термистора с защитной пастой.
Результаты. Проведено исследование СВЧ-термоаттенюаторов на основе LTCC-технологии и толстопленочных резисторов (термисторов), имеющих положительный и отрицательный температурный коэффициент сопротивления. Дана оценка влияния толщины термистора, операции декапирования и взаимодействия с защитной пастой на основные характеристики терморезистивных паст. Выполнены измерения характеристик СВЧ-термоаттенюаторов на частотах до 18 ГГц. Рассмотрены зависимости коэффициента стоячей волны и коэффициента ослабления от частоты при нормальных условиях в диапазоне температур от –40ºС до +85ºС.
Практическая значимость. Результаты измерений изготовленных СВЧ-термоаттенюаторов по LTCC-технологии на основе отечественных материалов (керамики СКМ и терморезистивных паст производства ООО «ЭЛМА-ПАСТЫ») в диапазоне частот от 0,01 до 18 ГГц с высокой точностью совпали с результатами моделирования.
Волкова Д.А., Кутузов М.К., Коломин В.М., Горяйнов В.С., Полозов Д.Н., Алексеенков В.И., Курапова А.Л. СВЧ-термоаттенюаторы из отечественных материалов для Кu-диапазона частот // Успехи современной радиоэлектроники. 2025. T. 79. № 11. С. 39–46. DOI: https://doi.org/10.18127/j20700784-202511-04
- Горяйнов В.С., Коломин В.М., Семенюк С.С. и др. Аттенюаторы с переменным коэффициентом затухания из отечественных материалов // Электронная техника. Сер. 1. СВЧ-техника. 2024. Вып. 2 (562). С. 29–37.
- Емельянов Е.В., Кеврух С.Л., Ющенко А.Ю. Бескорпусные фиксированные СВЧ аттенюаторы с заданной температурной зависимостью // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии. 2021. Вып. 3. С. 169–170.