М.Ю. Реушев – к.ф.-м.н., доцент,

Сибирский федеральный университет (г. Красноярск)

E-mail: reuqem@mail.ru

С.Л. Никитин – мл. науч. сотрудник,

ФИЦ КНЦ СО РАН (г. Красноярск)

Н.Н. Давлетшин – мл. науч. сотрудник,

ФИЦ КНЦ СО РАН (г. Красноярск)

Постановка проблемы. В последнее время, кроме широко используемых методов дефектоскопии, таких как акустических, рентгеновских, оптических, находит распространение радиоволновая дефектоскопия субмиллиметрового (ТГц) диапазона. Одним из основных достоинств ТГц-дефектоскопов является их неразрушающее действие. Кроме того, ТГц-излучение является неионизирующим, и процесс сканирования исследуемых образцов безопасен для пользователя. В последнее время появилась возможность визуализации ТГц-излучения, что позволяет усовершенствовать процессы диагностики и обнаружения дефектов, в том числе и в полупроводниковых интегральных схемах.

Цель. Исследовать сканер для бесконтактной дефектоскопии материалов в ТГц-диапазоне.

Результаты. Разработана модель сканера для проведения дефектоскопии материалов методом неразрушающего контроля в ТГц-диапазоне. В качестве зондирующего источника ТГц-излучения использован молекулярный лазер с оптической накачкой с помощью волноводного СО2 лазера, перестраиваемого в диапазоне длин волн от 9,4 до 10,7 мкм. Для автоматизации процесса измерений разработана методика сканирования исследуемых образцов и обработки полученных данных в среде программирования LABVIEW с использованием микроконтроллера ArduinoUNO.

Практическая значимость. Результаты работы могут быть полезны при дефектоскопии диэлектрических покрытий, полупроводниковых интегральных микросхем и др.

1. Siegel P.H. Terahertz Technology // IEEE Transactions on microwave theory and techniques. 2002. V. 50. № 3. P. 910–917.
2. Rostami A., Rasooli H., Baghban H. Terahertz Technology. Fundamentals and Applications / Lecture Notes in Electrical Engineering. 2010. P. 256.
3. Hu В.В., Nuss M.C. Imaging with terahertz waves // Optics letters. 1995. V. 20. № 16. P. 1716–1718. 
4. Chan W.L., Deibel J., Mittleman D. Imaging with terahertz radiation // Rep. Prog. Phys. A 70. 2007. P. 1325–1379.
5. Xu Li-Hong, Lees R.M., Vasconcellos E.C. Methanol and the Optically Pumped Far-Infrared Laser // IEEE Journal of Quantum Electronics. 1996. V. 32. № 3. P. 392–399.
6. Douglas N.G. Milimetre and Submilimetre Wavelength Lasers A Handbook of cw Measuremanets // Springer Series in Optics Sciences. 1989. № 61. P. 275.