350 руб
Журнал «Успехи современной радиоэлектроники» №11 за 2016 г.
Статья в номере:
Эквивалентная электромеханическая модель дискового резонатора
Ключевые слова: микромеханический резонатор эквивалентная электрическая модель эквивалентная механическая модель вносимое сопротивление напряжение смещения
Авторы:
А.Р. Бестугин - д.т.н., профессор, директор, АО «Всероссийский научно-исследовательский институт радиоаппаратуры» (Санкт-Петербург) Л.В. Белова - аспирант, АО «Всероссийский научно-исследовательский институт радиоаппаратуры» (Санкт-Петербург) E-mail: belova-lilia@rambler.ru
Аннотация:
Рассмотрен дисковый кремневый микромеханический резонатор. Построены эквивалентная механическая и электрическая модели. Определены зависимости вносимого сопротивление и резонансной частоты от конструкционных параметров резонатора. Приведены рекомендации по выбору параметров резонатора.
Страницы: 253-259
Список источников

 

  1. Бестугин А.Р., Филонов О.М., Киршина И.А. Микро- и наноэлектромеханические резонаторы ? функциональные компоненты перспективных систем обработки и передачи сигналов // Успехи современной радиоэлектроники. 2014. № 12. С. 42-44.
  2. Wang J, Ren Z, Nguyen CTC. 156-GHz self-aligned vibrating micromechanical disk resonator // IEEE Trans. Ultrason Ferroelectr Freq Control. 2004. № 51. P. 1607-1628.
  3. Joydeep B., Tarun K.B. Microelectromechanical resonators for radio frequency communication applications // Microsystem Technologies. 2011. № 17. P. 1557-1580.
  4. Clark JR, Hsu WT, Abdelmoneum MA, Nguyen CTC. High-Q UHF micromechanical radial-contour mode disk resonators // Microelectromech Syst. 2005. № 14 (6). P. 1298-1310
  5. Либов Д.Ю., Мелешко В.В. Высокочастотные колебания конечных упругих дисков // Акустический вестник. 2011. Т. 14. № 3. С. 12-22.
  6. Schmidt MA, Howe RT. Silicon resonant microsensors // Proceedings of Ceramic Engineering and Science: John Wiley & Sons; New York. 2008. P. 1019-1034.
  7. Доля В.К., Митько В.Н. Общая теория электромеханических преобразователей. Учеб. пособие. Ростов-на-Дону. 2009.
  8. Федченко В.Г., Плотянская М.А., Белова Л.В. Теоретические основы проектирования микромеханических систем с пониженной чувствительностью к изменению температуры // Наука и образование: тенденции и перспективы. 2015. № 1(2). С. 54-60.