350 руб
Журнал «Успехи современной радиоэлектроники» №7 за 2011 г.
Статья в номере:
Формирование прецизионных тонкопленочных резисторов с низким и высоким значениями поверхностного сопротивления
Ключевые слова: пленки тантала поверхностное сопротивление пленки иттрия пленочные резисторы
Авторы:
И. А. Корж - к. т. н., нач. сектора ФГУП «Омский НИИ приборостроения». E-mail: info@oniip.ru
Аннотация:
Описана технология формирования тонкопленочных резисторов с низким и высоким значениями поверхностного со-противления из одного резистивного материала - тантала. Приведены примеры использования данной технологии.
Страницы: 51-53
Список источников
  1. Степаненко И.П. Основы микроэлектроники. М.: Сов. радио. 1980.
  2. ThinSolidFilms. 1986. V. 143. № 1. P. 91-95.
  3. Корж И.А., Катунский Е.А.Прецизионные тонкопленочные резисторы // Техника радиосвязи. Омск: 2010. Вып. 15. С. 107-110.