350 руб
Журнал «Успехи современной радиоэлектроники» №6 за 2010 г.
Статья в номере:
Метрология и стандартизация в нанотехнологиях
Ключевые слова: метрология нанотехнология
Авторы:
П. А. Тодуа - д.ф.-м.н., проф., декан ФФКЭ МФТИ, ген. директор ОАО «НИЦПВ» E-mail: fgupnicpv@mail.ru
Аннотация:
Рассмотрено современное состояние и пути развития нанометрологии - ключевого звена инфраструктуры индустрии наносистем и материалов
Страницы: 56-61
Список источников
  1. Postek M.T. Nanometer - Scale Metrology // Proceedings of SPIE. 2002. V. 4608. Р. 84-96.
  2. Тодуа П.А. Метрология в нанотехнологии // Российские нанотехнологии. 2007. Т. 2. № 1-2. С. 61-69.
  3. Тодуа П.А., Быков В.А., Волк Ч.П., Горнев Е.С., Желкобаев Ж., Зыкин Л.М., Ишанов А.Б., Календин В.В., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Плотников Ю.И., Прохоров А.М., Раков А.В., Саунин С.А., Черняков В.Н. Метрологическое обеспечение измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазоне и их внедрение в микроэлектронику и нанотехнологию // Микросистемная техника. 2004. № 1. С. 38-44; № 2. С. 24-39; № 3. С. 25-32.
  4. Novikov Yu.A., Rakov A.V., Todua P.A. Metrology in linear measurements of nanoobject elements // Proceedings of SPIE. 2006. V. 6260. Р. 626013-1 - 626013-8.
  5. Novikov Yu.A., Gavrilenko V.P., Ozerin Yu.V., Rakov A.V., Todua P.A. Silicon tect object of linewidth of nanometer range for SEM and AFM // Proceedings of SPIE. 2007. V. 6648. Р. 66480R-1 - 66480R-11.
  6. Novikov Yu.A., Gavrilenko V.P., Rakov A.V., Todua P.A. Test objects with right-angled and trapezoidal profiles of the relief elements // Proceedings of SPIE. 2008. V. 7042. Р.704208-1 - 704208-12.
  7. Todua P.A., Gavrilenko V.P., Novikov Yu.A., Rakov A.V. Check of the quality of fabrication of test objects with a trapezoidal profile // Proceedings of SPIE. 2008. V. 7042. Р. 704209-1 - 704209-8.
  8. Данилова М.А., Митюхляев В.Б., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Раков А.В., Тодуа П.А. Тест-объект с шириной линии менее 10 нм для растровой электронной микроскопии // Измерительная техника. 2008. № 8. С. 20-23.
  9. Данилова М.А., Митюхляев В.Б., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Раков А.В., Тодуа П.А. Тест-объект с тремя аттестованными размерами ширины линии для растровой электронной микроскопии // Измерительная техника. 2008. № 9. С. 49-51.
  10. Novikov Yu.A., Rakov A.V., Todua P.A. Linear sizes measurements of relief elements with the width less 100 nm on a SEM // Proceedings of SPIE. 2006. V. 6260. Р. 626015-1 ? 626015-6.
  11. Gavrilenko V.P., Filippov M.N., Novikov Yu.A., Rakov A.V., Todua P.A. Measurements of linear sizes of relief elements
    in the nanometer range using a scanning electron microscopy // Proceedings of SPIE. 2007. V. 6648.
    Р. 66480T-1 - 66480T-12.
  12. Novikov Yu.A., Darznek S.A., Filippov M.N., Mityukhlyaev V.B., Rakov A.V., Todua P.A. Nanorelief elements in reference measures for scanning electron microscopy // Proceedings of SPIE. 2008. V. 7025. P. 702511-1 - 702511-10.
  13. Gavrilenko V.P., Novikov Yu.A., Rakov A.V., Todua P.A. Measurements of the parameters of the electron beam of a scanning electron microscopy// Proceedings of SPIE. 2008. V. 7042. Р.70420C-1 - 12.
  14. Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А. Точность измерения линейных размеров на растровых электронных микроскопов в микро- и нанотехнологиях // Измерительная техника. 2008. № 6. С. 15-18.
  15. Волк Ч.П., Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А. Калибровка растрового электронного микроскопа по двум координатам с использованием одного аттестованного размера // Измерительная техника. 2008. № 6. С. 18-20.
  16. Todua P.A., Filippov M.N., Gavrilenko V.P., Novikov Yu.A., Rakov A.V. Measurement of linear sizes of relief elements in the nanometer range using an atomic force microscopy // Proceedings of SPIE. 2007. V. 6648. Р. 66480S-1 - 66480S-12.
  17. Novikov Yu.A., Filippov M.N., Lysov I.D., Rakov A.V., Sharonov V.A., Todua P.A. Derect measurement of the linewidth of relief elements of AFM in nanometer range // Proceedings of SPIE. 2008. V. 7025. Р. 702510-1 - 702510-10.
  18. Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А. Геометрия формирования изображения в сканирующей зондовой микроскопии // Микроэлектроника. 2008. Т. 37. №6. С. 448-469.
  19. Раков А.В., Новиков Ю.А., Тодуа П.А. Калибровка АСМ по трем координатам с использованием одного аттестованного размера // Измерительная техника. 2008. № 5. С. 3-15.
  20. Раков А.В., Тодуа П.А. Измерение линейности сканирования в атомно-силовом микроскопе // Измерительная техника. 2008. № 6. С. 12-14.
  21. Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А. Прямое измерение ширины линии на атомно-силовом микроскопе // Измерительная техника. 2008. № 5. С. 10-12.
  22. Гавриленко В.П., Лесновский Е.Н., Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Первые российские стандарты в нанотехнологиях // Изв. РАН. Сер. Физическая. 2009. Т. 73. №4. С. 454-462.
  23. Gavrilenko V.P., Mityukhlyaev V.B., Novikov Yu.A., Ozerin Yu.V., Rakov A.V., Todua P.A. Test object of the linewidsh with a trapezoidal profile and three certified sizes for an SEM and AFM // Measurement science and technology. 2009.
    V. 20. No. 8. P. 084022.
  24. Кузин А.Ю., Лахов В.М., Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А. Исследование характеристик кантилеверов атомно-силовых микроскопов // Измерительная техника. 2009. №7. С. 17-19.
  25. Волк Ч.П., Митюхляев В.Б., Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А. Изображение тест-объекта ширины линии в РЭМ при разных энергиях электронов зонда // Измерительная техника. 2009. №7. С. 20-23.