350 руб
Журнал «Успехи современной радиоэлектроники» №7 за 2008 г.
Статья в номере:
Интегральные микроэлектромеханические системы (iМЭМС) ? новое направлении микроэлектроники
Авторы:
А.М. Лагун, Е.А. Трудновская, Д.В. Рыбин, П.Р. Машевич