350 rub
Journal Science Intensive Technologies №5 for 2012 г.
Article in number:
Technological control of element structure perovskite layer of planar nano structures deposited in HF-plasma
Keywords: ion-beam diagnostics rutherford backscattering ferroelectric films perovskite magnesium oxide barium-strontium-titanium
Authors:
M.S. Afanas-ev, V.K. Egorov, P.A. Lychnikov, A.V. Byrov, G.V. Chucheva
Abstract:
The Ba1-xSrxTiO3 (BSTO) thin films were investigated on single-crystal substrates Si [100], MgO [100] and NdGaO3 [100] by the methods of Rutherford helium ion backscattering. The article considered the features of Rutherford backscattering (RBS) spectroscopy and its expected result at the analysis of Ba1-xSrxTiO3 (BSTO) thin films on single-crystal substrates. Using RBS method barium-strontium-titanium (Ba1-xSrxTiO3) films on various substrates are studied. The authors determined the degree of the film thickness elemental heterogeneity and the level of substrate diffusive impurity by the atoms.
Pages: 53-57
References
  1. Shigetani H., Kobayashi K., Fujimoto M., Sugimura W., Matsui Y., Tanaka J. BaTiO3 thin films grown on SrTiO3 substrates by a molecular-beam-epitaxy method using oxygen radicals // J. Appl. Phys. 1997. V. 81. Р. 693.
  2. Kaernmer K., Huelz H., Holzapfer B., Haessler W., Schultz L. Electrode influence on the polarization properties of BaTiO3thin films prepared by off-axis laser deposition // J. Phys. D, Appl. Phys. 1997. V 30. P. 522-526.
  3. Iijima K., Terashima T., Yamamoto K., Hirata K., Bando Y. Preparation of ferroelectric BaTiO3 thin films by activated reactive evaporation // J. Appl. Phys. Let. 1990. V 56. Р. 527-530.
  4. Hakazawa H., Yamane H., Hirai T.Metalorganic Chemical Vapor Deposition of BaTiO3 Films on MgO(100) // Jpn. J. Appl. Phys. 1991. V. 30. Р. 2200-2203.
  5. Granicher H., Jakits O.  // Nuovo Cimento Suppl. 1954. V. 11. Р. 480.
  6. Chu W.K.,. Mayer J.M, Nikole M.A. Backscattering Spectrometry. New York: Academic Press. 1978.
  7. Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А., Ташлыков И.С. Неразрушающий анализ поверхностей твердых тел ионными пучками. Минск: Университетское. 1987.
  8. Doolittle L.R. Algorithm for the rapid simulation of Rutherford Backscattering spectra // NIM. 1985. B9. Р. 344-351.
  9. Bird J.R., Wiiliams J.S. Ion beams for material analysis. Sidney: Academic Press. 1989.
  10. Егоров В.К., Егоров Е.В. Ионопучковые методы неразрушающего количественного контроля наноструктур // Материалы 10-й Международной НТК «Высокие технологии в промышленности России». М.: Техномаш. 2004. С. 82-103.
  11. Афанасьев М.С., Егоров В.К., Чучева Г.В., Лучников П.А., Буров А.В. Диагностика наноразмерных сегнетоэлектрических пленок на полупроводниковых и диэлектрических подложках методом РОР-спектроскопии // Наноматериалы и наноструктуры. 2011. № 3. С. 50-56.
  12. Klockenkamper R. Total Reflection X-ray fluorescence analysis. New York: Wiley. 1997